VT-COD系列三軸精密位置系統(tǒng)
行程50mm x 50mm x 50mm
全行程絕對位置定位，無需回零
適用于半導(dǎo)體、科研中掃描、點(diǎn)到點(diǎn)應(yīng)用
標(biāo)配納米級光柵，三軸超高定位精度
集成控制器，達(dá)到極致便攜應(yīng)用
極具性價比的納米級三軸定位平臺
產(chǎn)品參數(shù)
| 型號 | VT-COD-3A50 |
| 行程范圍X x Y x Z | 50mm x 50mm x 50mm |
| 最大速度 | 15mm/s |
| 最小位移量 | 50nm |
| 臺面負(fù)載能力 | 150N |
| 垂直負(fù)載能力 | 25N |
| 雙向重復(fù)精度 | ±0.10 μm |
| 精度 | ±0.30 μm |
| 原點(diǎn)重復(fù)精度 | ±0.050 μm |
| 重量 | 18kg |
| 外形尺寸：長x 寬x 高 | 300mm x 375mm x 385mm |
