產(chǎn)品參數(shù)
| NCM-350A | |
| 長x寬x高 | 2200x800x2110mm |
| 自重 | 1150kg |
| 最大承載 | 50kg |
| 測量范圍 | ?100-?400mm |
| 最大測量高度 | 350mm |
| 最小位移增量 X、Z | ±0.1 μm, ±0.1μm |
| 最小旋轉(zhuǎn)角度增量ΘZ | ±0.1mdeg |
| 測量分辨率 | 0.2 μm |
| 綜合測量精度 | 3 μm |
| 測量功能 | 半徑測量、母線測量、輪廓測量、圓度測量、表面形貌測量 |
| 結(jié)果顯示 | 數(shù)據(jù)可視化微觀形貌顯示 |
| 旋轉(zhuǎn)軸端跳徑跳 | 優(yōu)于100nm |
